掃描電子顯微鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。廣泛用于生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、金屬材料、高分子材料、化工原料、地質(zhì)礦物、商品檢驗(yàn)、產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量控制、寶石鑒定、考古和文物鑒定及公安刑偵物證分析。可以觀察和檢測非均相有機(jī)材料、無機(jī)材料及在上述微米、納米級(jí)樣品的表面特征。
掃描電子顯微鏡是以能量為1-30kV間的電子束，以光柵狀掃描方式照射到被分析試樣的表面上，利用入射電子和試樣表面物質(zhì)相互作用所產(chǎn)生的二次電子和背散射電子成像，獲得試樣表面微觀組織結(jié)構(gòu)和形貌信息。配置波譜儀和能譜儀，利用所產(chǎn)生的X射線對(duì)試樣進(jìn)行定性和定量化學(xué)成分分析。掃描顯微鏡的電子槍為場發(fā)射電子槍，通過高能電子束照射被測樣品后所產(chǎn)生不同的物理信號(hào)，而后對(duì)不同的物理信號(hào)進(jìn)行分析得到被測樣品的多種信息。
掃描電鏡儀器技術(shù)的發(fā)展進(jìn)一步提高電子束照明源的工作穩(wěn)定性，減小其閃爍噪音；進(jìn)一步提高在低加速電壓下對(duì)大試樣觀察和分析的分辨率；開拓同低能掃描電子顯微術(shù)有關(guān)功能的新儀器技術(shù)。掃描電子顯微鏡有較高的放大倍數(shù)，有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)；試樣制備簡單，目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀(EDS)裝置，這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析。
