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      技術文章

      透射電鏡系統是由哪些部分組成的

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      透射電鏡是目前材料科學領域常用的分析儀器,廣泛地應用于各個領域。透射電鏡,全稱透射電子顯微鏡,簡稱TEM,是一種把經加速和聚集的電子束透射到非常薄的樣品上,電子與樣品中的原子碰撞而改變方向,從而產生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度等相關,因此可以形成明暗不同的影像,影像在放大、聚焦后在成像器件(如熒光屏,膠片以及感光耦合組件)上顯示出來的顯微鏡。 

      TEM系統由以下幾部分組成:

      1、電子槍:發射電子。由陰極,柵極和陽極組成。陰極管發射的電子通過柵極上的小孔形成射線束,經陽極電壓加速后射向聚光鏡,起到對電子束加速和加壓的作用。

      2、聚光鏡:將電子束聚集得到平行光源。聚光鏡處在電子槍的下方,一般由2~3級組成,從上至下依次稱為第1、第2聚光鏡(以C1 和C2表示)。C1和C2的結構相似,但極靴形狀和工作電流不同,所以形成的磁場強度和用也不相同。C1為強磁場透鏡,C2為弱磁場透鏡,各級聚光鏡組合在一起使用,可以調節照明束斑的直徑大小,從而改變了照明亮度的強弱。

      3、樣品桿:裝載需觀察的樣品。樣品臺必須能做水平面上X、Y方向的移動,以選擇、移動觀察視野,相對應地配備了2個操縱桿或者旋轉手輪,這是一個精密的調節機構,每一個操縱桿旋轉10圈時,樣品臺才能沿著某個方向移動3mm左右。現代高檔電鏡可配有由計算機控制的馬達驅動的樣品臺,力求樣品在移動時精確,固定時穩定;并能由計算機對樣品做出標簽式定位標記,以便使用者在需要做回顧性對照時依靠計算機定位查找,這是在手動選區操作中很難實現的。

      4、物鏡:聚焦成像,一次放大。致力于提高一臺電鏡的分辨率指標的核心問題,便是對物鏡的性能設計和工藝制作的綜合考核。盡可能地使之焦距短、像差小,又希望其空間大,便于樣品操作,但這中間存在著不少相互矛盾的環節。

      5、中間鏡:二次放大,并控制成像模式(圖像模式或者電子衍射模式)。

      6、投影鏡:三次放大。對中間鏡和投影鏡這類放大成像透鏡的主要要求是:在盡可能縮短鏡筒高度的條件下,得到滿足高分辨率所需的最高放大率,以及為尋找合適視野所需的最低放大率;可以進行電子衍射像分析,做選區衍射和小角度衍射等特殊觀察;同樣也希望它們的像差、畸變和軸上像散都盡可能地小。

      7、熒光屏:將電子信號轉化為可見光,供操作者觀察。熒光屏的中心部分為一直徑約10cm的圓形活動熒光屏板,平放時與外周熒屏吻合,可以進行大面積觀察。使用外部操縱手柄可將活動熒屏拉起,斜放在45°角位置,此時可用電鏡置配的雙目放大鏡,在觀察室外部通過玻璃窗來精確聚焦或細致分析影像結構;而活動熒光屏*直立豎起時能讓電子影像通過,照射在下面的感光膠片上進行曝光。

      8、CCD相機:電荷耦合元件,將光學影像轉化為數字信號。

       

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