STEM透射電鏡是怎么來(lái)的？掃描電子顯微鏡已成為表征物質(zhì)微觀結(jié)構(gòu)*的儀器。在掃描電鏡中，電子束與試樣的物質(zhì)發(fā)生相互作用，可產(chǎn)生二次電子、特征X射線、背散射電子等多種的信號(hào)，通過(guò)采集二次電子、背散射電子得到有關(guān)物質(zhì)表面微觀形貌的信息，背散射電子衍射花樣得到晶體結(jié)構(gòu)信息，特征X-射線得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息，這些得到的都是接近樣品表面的信息。在掃描電鏡中，電子束與薄樣品相互作用時(shí)，會(huì)有一部分電子透過(guò)樣品，這一部分透射電子也可用來(lái)成像，其形成的像就是掃描透射像(STEM像)。
STEM透射電鏡透射電子像的形成主要是入射電子束與樣品發(fā)生相互作用，當(dāng)電子束穿過(guò)樣品逸出下表面時(shí)，電子束的強(qiáng)度發(fā)生了變化，從而投影到熒光屏上的強(qiáng)度是不均勻的，這種強(qiáng)度不均勻就形成了透射像。通常以襯度(Contrast，C)來(lái)描述透射電子所成的像，襯度指樣品電子像上相鄰區(qū)域的電子束強(qiáng)度差，即圖像的對(duì)比度，電子束被樣品散射后，根據(jù)樣品的性質(zhì)不同，電子束的振幅和相位會(huì)發(fā)生相應(yīng)的改變，形成振幅襯度像和相位襯度像，其中由于樣品的質(zhì)量(原子序數(shù)、密度等)或者厚度的差異造成的透射電子束強(qiáng)度的差異而形成的襯度稱為質(zhì)厚襯度，非晶材料的透射像襯度主要為質(zhì)厚襯度像，入射電子透過(guò)樣品時(shí)碰到的原子數(shù)越多即樣品越厚，或者樣品原子核庫(kù)侖電場(chǎng)越強(qiáng)即原子序數(shù)或密度越大，被散射的大角度的電子越多，被擋在物鏡光闌之外越多，成像系統(tǒng)接受的電子數(shù)越少，那么襯度高，反之襯度越低。
在掃描電鏡上配置透射附件，應(yīng)用透射模式(Scanning transmission electron microscopy，STEM)可得到物質(zhì)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息，STEM透射電鏡既有掃描電鏡的功能，又具備透射電鏡的功能，與透射電鏡相比，由于其加速電壓低，所以可顯著減少電子束對(duì)樣品的損傷，而且可大大提高圖像的襯度，特別適合于有機(jī)高分子、生物等軟材料樣品的透射分析。
