智能型鎢燈絲掃描電鏡總發(fā)射電流和束斑都較大，抗干擾能力和穩(wěn)定性都較好，低真空下可以對(duì)不導(dǎo)電樣品無(wú)荷電成像，可用于形貌觀察、顯微結(jié)構(gòu)分析、斷口形貌分析，在材料、地質(zhì)、礦產(chǎn)、冶金、機(jī)械、化學(xué)、化工、物理、電子、生物、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域都有廣泛的用途。
智能型鎢燈絲掃描電鏡和場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的區(qū)別如下：
1、點(diǎn)源直徑不同及優(yōu)劣
鎢燈絲掃描電鏡電子槍陰極使用0.1mm直徑的鎢絲制成V極)，使用V形的作為點(diǎn)發(fā)射源，曲率半徑大約為0.1mm;場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡電子槍陰極使用0.1mm直徑的鎢絲，經(jīng)過(guò)腐蝕制成針狀的尖陰極，一般曲率半徑在100nm~1μm之間。由于制作工藝上的差異，造價(jià)不同，發(fā)叉式鎢絲陰極便宜，場(chǎng)發(fā)射陰極很貴。
2、發(fā)射機(jī)制不同和優(yōu)劣
鎢燈絲掃描電鏡屬于熱發(fā)射，在燈絲電極加直流電壓，鎢絲發(fā)熱，使用溫度一般在2600K~2800K之間，鎢絲有很高的電子發(fā)射效率，溫度越高電流密度越大，理想情況下的的電子槍亮度越高。由于材料的蒸發(fā)速度隨溫度升高而急劇上升，因此鎢燈絲的壽命比較短，一般在50~200小時(shí)之間，這個(gè)和設(shè)定的燈絲溫度有關(guān)。由于電子發(fā)射溫度高，發(fā)射的電子能量分散度大，一般2ev，電子槍引起的色差會(huì)比較大。
