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      技術文章/ TECHNICAL ARTICLES
      
            
      
            	我的位置：首頁  >  技術文章  >  RIGAKUT日本理學XHEMIS TX-3000V 內置 VPD 的 TXRF 光譜儀
            
      
            
      
        
      
        
        
      
        	
      RIGAKUT日本理學XHEMIS TX-3000V 內置 VPD 的 TXRF 光譜儀
      
            
      更新時間：2025-04-23      瀏覽次數：575
      
            
      
            	
      XHEMIS TX-3000V
      內置 VPD 的 TXRF 光譜儀
      超快速金屬污染分布驗證
      VPD 的最高靈敏度
      兼容最大 300 毫米的晶圓

      XHEMIS TX-3000

      XHEMIS TX-3000V 規格
      技術全內反射 X 射線熒光光譜法 （TXRF） 與氣相分解 （VPD）
      用微量元素表面污染測量 niyoru 1E7
      原子/cm2 檢測限 標測速度提高約
      3 倍
      科技集成自動 VPD 制備、三光束激發和自動光學元件更換
      主要組件三探測器配置：
      高功率 W 與陰極 X 射線源（9 kW 旋轉與陰極） 3
      種激發能量，針對輕元素、過渡元素和重元素
      進行了優化 XYθ 樣品臺
      雙 FOUP 負載端口
      特征全晶圓映射 （SWEEPING-TXRF） 零
      邊緣排除 （ZEE-TXRF） 集成
      自動 VPD 預處理 （VPD-TXRF）
      用于硅晶圓的雙 FOUP 加載端口，可實現最高靈敏度
      選擇背面分析 （BAC-TXRF）
      GEM300 軟件，E84/OHT 支持
      氣相處理 （VPT-TXRF），以提高靈敏度，同時保留空間信息 VPD
      用于親水性晶圓表面（例如 SiC）
      本體尺寸1280 （W） x 3750 （D） x 2040 （H）
      （不包括顯示器和信號塔）
      測量結果定量結果、光譜圖、彩色等值線圖、映射表


      
            
      
            
		
      
            
    
      
    
      

      




      
    
      
        
        
      
        	
            
            
      
            	
      電話：TEL
      
                86-010-67868591
                
      地址：ADDRESS
      
                朝陽區住邦2000商務樓A座1號樓406B
            
      
            
      
                
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