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      技術文章/ TECHNICAL ARTICLES
      
            
      
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      日本ULVAC愛發科Si單晶爐用NRL60A干式真空泵北崎熱賣
      
            
      更新時間：2025-06-12      瀏覽次數：402
      
            
      
            	
      日本ULVAC愛發科Si單晶爐用NRL60A干式真空泵北崎熱賣
        NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
            特長
          1. NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。

          2. 低噪音、低振動

          3. 優良的耐腐蝕性

          4. 標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。

          5. 選購件

          6. 可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。


            7. 用途
          7. •  活性氣體（CVD、刻蝕等）。

          8. •  排出非活性氣體（濺射鍍膜、   蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。

          9. •  用于產生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）

          10. •  作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）。

          11. •  冷凍干燥等水蒸氣排氣。

      • 技術參數
      • 外形尺寸圖
      • 抽氣速率曲線
      日本ULVAC愛發科Si單晶爐用NRL60A干式真空泵北崎熱賣

      * 1  極限壓力是氮氣（密封氣體）在5.0 SLM時的值。
      * 2  無結露。
      * 3  用調節閥所調整的壓力表的值。
      * 4  氮氣（密封氣體）流量5.0 SLM是固定值。

      
            
      
            
		
      
            
    
      
    
      

      




      
    
      
        
        
      
        	
            
            
      
            	
      電話：TEL
      
                86-010-67868591
                
      地址：ADDRESS
      
                朝陽區住邦2000商務樓A座1號樓406B
            
      
            
      
                
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