SEM掃描電子顯微鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。它由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)收集及顯示系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)組成，應(yīng)用于生物、醫(yī)學(xué)、材料和化學(xué)等領(lǐng)域。
SEM掃描電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)組成：
1、電子光學(xué)系統(tǒng)
組成：電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件。
作用：獲得掃描電子束、作為產(chǎn)生物理信號(hào)的激發(fā)源。
2、信號(hào)收集和顯示系統(tǒng)
信號(hào)收集：二次電子和背散射電子收集器、吸收電子顯示器、X射線檢測(cè)器(波譜儀和能譜儀)
顯示系統(tǒng)：顯示屏有兩個(gè)，一個(gè)用于觀察，一個(gè)用于記錄照相。
3、真空系統(tǒng)
組成：機(jī)械泵、擴(kuò)散泵
作用：保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作，提供高真空度，防止樣品污染，保持燈絲壽命，防止極間放電。
4、電源系統(tǒng)
包括啟動(dòng)的各種電源，檢測(cè)-放大系統(tǒng)電源，光電倍增管電源，真空系統(tǒng)和成像系統(tǒng)電源燈。還有穩(wěn)壓、穩(wěn)流及相應(yīng)的安全保護(hù)電路。
SEM掃描電子顯微鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過對(duì)這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測(cè)試試樣表面形貌的觀察。它的制造依據(jù)是電子與物質(zhì)的相互作用。
