鎢燈絲掃描電鏡通過對電子槍內(nèi)的鎢燈絲加高電壓，使電子槍處于熱激發(fā)狀態(tài)，在陽極作用下，處于熱激發(fā)的電子槍就可以激發(fā)出電子束。經(jīng)過掃描線圈磁場的控制，電子束在樣品表面逐點掃描，激發(fā)出二次電子、背散射電子等物理信號，經(jīng)探測器收集、放大器放大后，調(diào)制得圖像。
鎢燈絲掃描電鏡總發(fā)射電流和束斑都較大，抗干擾能力和穩(wěn)定性都較好，低真空下可以對不導電樣品無荷電成像，可用于形貌觀察、顯微結(jié)構(gòu)分析、斷口形貌分析，在材料、地質(zhì)、礦產(chǎn)、冶金、機械、化學、化工、物理、電子、生物、醫(yī)學等領(lǐng)域都有廣泛的用途。
鎢燈絲掃描電鏡的其他一些有益措施：
1.新燈絲的表面可能吸附一定量的空氣、水汽，當它被安裝到電鏡鏡筒里時，會從燈絲表面緩緩釋放，影響鏡筒的真空度，腐蝕燈絲。因此，新燈絲在更換前要先經(jīng)過“去潮、去氣”處理，可在電熱箱內(nèi)放置數(shù)小時，然后放入透射電鏡底片抽氣室預(yù)抽氣數(shù)小時以除去新燈絲上吸附的殘余空氣和水汽。
2.干燥好的樣品若暫時不用，可放在干燥器或真空中保存，樣品粘臺后最好放入透射電鏡底片抽氣室預(yù)抽氣數(shù)小時再放入電鏡觀察。
3.飽和點調(diào)低一點，滿足要求即可。掃描電鏡鎢燈絲有兩個飽和點：第2飽和點用于高分辨率觀察照相，如果對圖像要求不高或做，可以在第一飽和點工作，這樣可以延長燈絲的壽命。
4.高真空抽到后等幾分鐘，讓真空度更高。換樣品放氣前等幾分鐘，讓燈絲冷卻下來再放氣，避免過熱燈絲與大氣接觸氧化燈絲。
5.加速電壓不宜用得過高，滿足要求即可，能用低電壓就不用高電壓。放大倍數(shù)不超過一萬倍時一般15-20Kv就可以了。同時，應(yīng)保持工作電壓與工作距離的相對穩(wěn)定，如無特殊需要，不要經(jīng)常更換電壓與工作距離。因為頻繁更改電鏡工作參數(shù)不利于電鏡穩(wěn)定工作。
6.平時盡量少頻繁開關(guān)燈絲，次數(shù)過多對燈絲不利。通過以上措施，不僅可以大大減少維護費用，同時很好的保證了電子顯微鏡的高效、穩(wěn)定運行。
